1月12日,陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺舉行核心設備搬入儀式。作為陜西省2022年重點建設項目,該臺依托“追光計劃”頂層設計,借助西科控股產業體系優勢助推“1+2+N”光子產業布局構想落地,打造領先的先進光子器件工程創新平臺。
據了解,陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺項目是中科院西安光機所和西安高新區共同打造的秦創原“三器”平臺項目之一。項目占地30畝,建設中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發中試配套設施,總建筑面積約3萬平方米,潔凈廠房3000平方米,一期專業設備86臺(套),具備以GaAs、GaN為主線,圍繞6英寸化合物芯片工藝服務能力的柔性中試平臺,可為光子產業孵化項目提供產品研發、中試、檢測等全流程技術服務。
該平臺技術服務模式(20%)+工程代工模式(80%)的結合,為光子產業各類創新主體,打通從產品研發到市場化批量供貨的完整鏈條,解決當前行業中小型創新企業流片困難的問題。通過與創新企業持續進行聯合研發,光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝技術不斷攻克,平臺軟硬件建設不斷完善。同時,平臺將有效解決第三代化合物半導體芯片卡脖子環節中的外延生長與制程問題,為客戶提供芯片制造環節中的全流程服務(如外延生長、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等)。其客戶主要集中在光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設計企業、高校、科研院所等。
據介紹,光子技術產業是現代產業體系的“關鍵少數”,技術壁壘高、產業帶動性強、頭雁效應明顯,是新一輪科技革命全球必爭之域。陜西省光子產業發展優勢明顯,全省不僅擁有西安光機所、西安電子科技大學、西北工業大學等一批光子學科健全、特色鮮明的高校院所,具備豐厚的科研成果,還有擁有100余家光子技術企業,初步形成了光子制造、光子信息、光子傳感等產業集群。同時,陜西省在光子技術產業領域也有著深厚的科研基礎,高折射率硅光芯片、微納光波導、光柵耦合器和VCSEL激光器、半極性GaN光電芯片襯底材料等方面均處于行業領先水平。
未來,陜西光電子先導院先進光子器件工程創新平臺將持續助力光子產業鏈上下游企業聚集,通過稀缺平臺資源+專業技術服務持續吸引光子產業上下游企業聚集。為解決實驗室無法工程化創新成果,而成熟芯片代工廠又難以承接小量創新產品產出的兩難局面,做到有效的工程化銜接。
同時吸引更多光子產業創新要素匯聚陜西,為國家攻關一批解決“卡脖子”并引領未來的關鍵核心技術,培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子產業冠軍企業,推動光子產業集群化、規模化、高產值化發展。
編輯: 孫璐瑩
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